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SF6充气柜真空箱检漏系统欢迎来电“本信息长期有效”
2021-06-18






氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择

今天科仪创新的小编就和大家来分享一下氦质谱检漏仪对示漏气体有哪些要求,希望对您有所帮助!

(1)无害,不能对人体或环境造成伤害;

(2)质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;

(3)化学性质稳定,不会引起化学反应和易1燃易1爆;

(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。









氦质谱检漏仪的工作原理

今天科仪创新的小编和大家分享的是氦质谱检漏仪的工作原理,希望对您有所帮助!

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。检漏时,如果用氦气喷吹漏孔,氦气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中,使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来,达到了检漏的目的。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体氦气有响应信号,而对其他气体没有响应,从而检漏。








氦质谱检漏仪的检漏方式有那些

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。真空法的优点是检测灵敏度高,可以准确定位,能实现大容器或复杂结构产品的检漏。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

氦质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,氦质谱检漏仪可达1000Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝寿命长等优点。

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